imec更新2039路线图

imec公开2039年逻辑设备的路线图imec在5月下旬在比利时举办的创业40周年纪念活动“ITF（imec Technology Forum）World2024”中，公开了包括采用数值孔径为0.75的Hyper-NA（超高NA）EUV光刻在内的2039年逻辑设备的路线图。同时，作为合作伙伴的ASML的前社长兼CTO的Martin van den Brink先生，明确了开口数NA=0.75的超高NA EUV曝光装置正在开发中。