功率器件参数测试指南

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参数表征既需要进行电流－电压（IV）测量，也需要进行电容－电压（CV）测量。 目前开发的制程技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的  IV  和  CV  测量。 Keysight B1500A 半导体器件分析仪在单台主机中使用一个新的 单插槽多频率电容测量单元（MFCMU） 和 两个 SMU 单元 ，能够支持单通道的 IV 和 CV 测量。 在一个探头台上进行 IV 和 CV 这两种测量并不容易。 基于 SMU 的 IV 测量使用 三轴连接器 ，而基于 CMU 的 CV 测量则使用  BNC 连接器 。 这两种测量之间的切换非常复杂和耗时，很容易造成测量错误。 例如，当通过手动切换测量电缆时，需要同时保持晶圆上的探针不变。 在这种情况下切换电缆， 摩擦 所产生的电荷可能会损坏器件。 除了电缆连接问题之外，为获得准确的结果，还必须正确设置与电容测量相关的 误差 补偿参数。 B1500A 半导 ………………………………