基于紫外纳米压印光刻的生物纳米孔测序MEMS芯片

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纳米孔测序是一种新兴测序技术，具有超长读长和可进行实时数据采集的优势，能在短时间内有效地对各类临床标本进行宏基因组测序和病原体鉴定，具有良好的临床应用前景。 MEMS结构阵列作为纳米孔测序芯片中最重要的一环，每个微支架可支撑磷脂（DPhPC）双分子层膜和嵌入膜内的纳米孔蛋白。MEMS结构决定了纳米孔芯片在运输和使用过程中的稳定性。每个微支架与自身电极相对应，该电极连接至MEMS阵列芯片的通道上，传感器阵列可使用任何数量的通道来制造。在目前的纳米孔测序领域，MEMS阵列基本上都是采用传统光刻技术。 据麦姆斯咨询报道，为了创新该领域研究，上海大学和上海微技术工业研究院的研究团队开创性地采用了紫外纳米压印光刻（UV-NIL）工艺来实现生物纳米孔测序中的MEMS芯片设计与加工，为MEMS结构制造提供了一种新的思路。 ………………………………