半导体破局能手：我国精密陶瓷产业10大痛点及发展建议！

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精密陶瓷部件主要是指应用在半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷部件。 精密陶瓷部件是半导体设备的关键部件， 其研发生产直接影响半导体产业发展。近几年，随着国家政策的调整，半导体行业迅速发展，产业规模急速增大，半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变， 高精密陶瓷关键部件的技术要求也越来越高。 由于陶瓷具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点，可用作硅片抛光机、外延/氧化/扩散等热处理设备、光刻机、沉积设备，半导体刻蚀设备，离子注入机等设备的零部件。 半导体陶瓷 有氧化铝、氮化硅、氮化铝、碳化硅等， 在半导体设备中，精密陶瓷的价值约占16%左右。 图片来源：pexels 一、最受欢迎的精密陶瓷材料 1. 氧化物陶瓷 据了解，半导体设备中会用到大量的氧化物陶瓷精密部件。 例如氧化铝 ………………………………