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大面积、均匀、超薄的金属氧化物薄膜的制备新技术

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-10-09 00:00

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研究背景 随着电子设备的不断发展,金属氧化物薄膜在透明导体、气体传感器、半导体、绝缘体以及钝化层等领域的重要性愈加突显。然而,现有的金属氧化物薄膜通常通过高温、慢速的真空沉积工艺制备,这些方法在制备过程中面临一些挑战,如高温处理导致的高成本、化学前驱体的危险性、真空处理的复杂性等。此外,传统方法还存在成膜质量不均匀、液体残留以及机械去除等问题。 研究内容 为了解决这些问题, 美国北卡罗来纳州立大学Michael Dickey教授联合韩国浦项科技大学Unyong Jeong教授 合作在“Science”期刊上发表了题为“ Ambient printing of native oxides for ultrathin transparent flexible circuit boards ”的最新论文。本研究提出了一种在室温条件下,利用熔融金属弯月面进行大面积、连续打印本征氧化物薄膜的方法。金属氧化物薄膜的打印是通过将熔融 ………………………………

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