工信部官宣分辨率65nm，套刻精度8nm光刻机大规模商用。工业和-20240915110909

程贵锋gui · 微博 · · 2024-09-15 11:09

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2024-09-15 11:09 本条微博链接工信部官宣分辨率65nm，套刻精度8nm光刻机大规模商用。工业和信息化部于 9 月 9 日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》通知，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）的内容。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。从90nm历 ………………………………

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