PZT压电薄膜制备工艺

文章预览

据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日， 爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员龚立强 将参加 《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： PZT压电薄膜制备工艺 授课老师简介： 龚立强，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员，日本新潟大学MEMS专攻硕士学历，研究领域为压电MEMS触觉传感器。目前，主要工作方向为压电MEMS及非制冷红外相关薄膜工艺开发。在高可靠性非制冷红外材料及外延PZT相关领域有多项技术成果及发明专利。 授课背景及内容： 压电薄膜沉积技术是实现压电MEMS传感器和执行器从概念到产品的重要环节。目前，产业界应用最广泛的压电薄膜材料是氮化铝（AlN）和锆钛酸铅（PZT），其中，PZT压电薄膜主要制备方法是溅射法（Sputtering）和溶胶-凝胶法（Sol-gel）。以溅射法为 ………………………………