今天看啥  ›  专栏  ›  超能网

超能课堂(217):什么是EUV光刻机?为什么大家都在追求它?

超能网  · 公众号  ·  · 2020-02-27 18:18
近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13和华为麒麟990用的就是这工艺,Intel也打算在他们的7nm节点上切入到EUV工艺,为什么这些半导体巨头们都在追捧EUV工艺呢?ASML最新的NEX:3400C光刻机首先我们了解一下什么是EUV光刻机在《超能课堂(66):沙子做的CPU,凭什么卖那么贵?》这批文章中我们已经介绍过芯片是怎么造出来的了,紫外线曝光是其中一步,而这个步骤就是由光刻机所执行的,它是芯片生产的核心,也是这个步骤决定了芯片的制程工艺。而光刻的工作原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗 ………………………………

原文地址:访问原文地址
快照地址: 访问文章快照