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🔬透射电子显微镜(TEM)是使用最为广泛的电子显微镜之一,由于电子的穿透能力较弱,样品制样效果对测试结果起到直接的影响! 🔆FIB具有对样品污染和损害程度相对低、可实现低温或者特殊环境条件下的切割、成像和分析的特点,已成为材料科学、生物、半导体等领域不可或缺的制样手段! 🌟FIB是什么呢? 聚焦离子束(Focused Ion beam,FIB)是将一束离子聚焦并对样品表面进行扫描,它类似于扫描电镜(SEM)。不同于SEM的是,FIB可同时进行表面成像及表面的纳米加工,SEM只能进行表面成像。 🌟FIB的主要应用有哪些? ✅TEM透射样品制备(FIB+TEM):针对表面薄膜,涂层,粉末大颗粒、块体等试样,通过对规定位置精确定位切割来制备TEM试样。 ✅微加工:微纳结构直接成形加工、材料沉积加工、指定点加工等。 ✅剖面分析(SEM/EDS):FIB准确定
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