半导体光致抗蚀剂用感光性聚合物“Lithomax™”产能提升

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三菱化学集团在九州事业所福冈地区新建 ArF光致抗蚀剂用Lithomax™及 EUV光致抗蚀剂用Lithomax™的量产设备 三菱化学集团（以下简称“本集团”）为了提升光致抗蚀剂用感光性聚合物“Lithomax™”的产能，决定在三菱化学九州事业所福冈地区（日本福冈县北九州市）新建ArF（氟化氩）光致抗蚀剂用Lithomax™及EUV（极紫外）光致抗蚀剂用Lithomax™的量产设备。 光致抗蚀剂用感光性聚合物是一种树脂，是光刻工艺（将半导体电路图转移到晶圆的过程）中使用的光致抗蚀剂的主要成分。本集团的Lithomax™其金属含量、杂质含量低，具有极其优越的质量以满足半导体电路的精细化要求，因此被众多光致抗蚀剂制造商采用。其中，对于为了进一步实现精细化所需的ArF光致抗蚀剂及EUV光致抗蚀剂，日本企业的市场份额占据压倒性优势，并且预计市场将不断发展壮大 ………………………………