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电容式微机械超声换能器(CMUT)具有频带宽、制造成本低、易与电路集成等优点,在医学成像领域具有广阔的应用前景。目前,国内外对于高密度CMUT器件的制备并不完善,高密度CMUT的应用研究也相对落后,急需开展通过稀疏阵元实现高密度、高质量成像的研究。 据麦姆斯咨询报道,针对该问题,中北大学、北京宇航系统工程研究所的研究团队基于32阵元的CMUT环形阵列,搭建了超声成像验证平台,并验证了所制备的CMUT环形阵列在超声成像中的可行性。该研究为进一步研制基于高密度CMUT换能器的超声成像系统提供了参考。相关研究成果以“基于CMUT环形阵列的反射超声成像方法”为题发表在《微纳电子技术》期刊上。 CMUT高密度阵元、低制造成本的特点使其拥有制备超声环形阵列独特的优势。这项研究工作所提出的32阵元CMUT环形阵列探头如图1所示,
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