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👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~ 来源:内容由半导体芯闻(ID:MooreNEWS) 编译自semiengineering ,谢谢。 High NA EUV有多贵? 根据已有信息,0.33 NA EUV光刻机的单台售价约为1.81亿美元,而High NA EUV光刻机单台价格达到了3.8 亿美元,翻了两倍有余,而它的重量更是相当于两架空客 A320飞机。 “成本非常高,”台积电高级副总裁Kevin Zhang在技术研讨会上谈到 ASML 最新的High NA EUV光刻机时说道。“我喜欢High NA EUV 的功能,但我不喜欢它的标价。”(I like the high-NA EUV’s capability, but I don’t like the sticker price.) 三大晶圆代工厂计划最早在 2025 年为 18 埃代工应用High NA EUV 光刻技术,但用标准 EUV(NA = 0.33)取代单次曝光高High NA(0.55)而非双重图案化,取决于它是否能以合理的每片晶圆成本提供更好的结果。 到目前为止,2024 年是高数值孔径 EUV 光
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