2024, ACS Nano——原子级精准加工：开启二维材料在下一代微电子中的无限可能

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文章链接： https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/acsnano.4c04908 该综述深入探讨了二维材料在未来微电子领域的应用前景，特别强调了原子级精准加工技术在其中的核心作用。二维材料因其独特的物理特性和灵活的缺陷工程潜力，成为下一代微电子技术的关键材料。通过应用原子层沉积、外延生长等添加型方法，以及原子层刻蚀等削减型方法，能够在原子尺度上实现材料的精确调控，从而推动高性能器件的集成和制造。这种原子级加工技术的进步不仅有望推动制造工艺的变革，还将对基础材料科学研究产生重要影响。总的来说，APP技术的发展将为未来的微电子技术提供坚实的基础，加速二维材料在这一领域中的应用进程。             摘要 信息时代经济的发展正推动着对先进微电子材料的追求，这一追求受到了“超越CMOS”（Beyond CMOS）和“超越摩尔定律” ………………………………