专家解读：特种气体疑难杂症全知道

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编 者按 请问你们群里面平时都有做交流讨论吗？ 回复：我们所有群执行每日一议制度，群里面每天都会进行一个议题的讨论交流。 交流促成长，分享共进步。    小编近期遇到一个芯片改造项目，工艺设备PECVD使用到硅烷5%和氢气95%的混合气，此混合气是气瓶里面混合好的，而不是两瓶气现场混合的。      我们在外墙设置一个防爆的气瓶间，设置防爆墙和泄爆墙。     气瓶间存放我们的气柜，气柜里面是硅烷5%和氢气95%的混合气气瓶。设置了环境平时换气和事故排风机，地面防静电，四周设置防静电接地带。监控摄像设置连接到中控室。     我们按照常规在这个气瓶间的环境和气柜的排风管里面都设置了氢气和硅烷的侦测器，但是很多人业内专家人士告知都是只检测硅烷，不检测氢气。 疑问1：硅烷5%和氢气95%的混合气气瓶，气柜和环境的氢气 ………………………………