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某5级洁净室的改造设计

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-07-21 11:20
    

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1 前言     某精密光学工程研究中心已建成的5级洁净室平面——区划如图1 所示,分内、外二间,分别由其上部硬吊顶内设置的二台组装式空调系统JK-1及JK-2保证其洁净度、空气温度和相对湿度等。空气处理过程为新风与回风混合、初效过滤、降温去湿(或加热)、加压、中效过滤处理后通过管道送入洁净室上部软吊顶静压箱再通过满布高效过滤器和稳压孔板进入洁净室,回风由二侧回风夹道下部的百叶回风口经回风管道回至空调器混合段。空调冷源为集中设置的风冷模块式冷(热)水机组(每个模块制冷量为110KW 共6个模块,合计为660KW)供空调用冷水或热水。 2  存在问题及要求     根据实验工艺要求去掉二个5级洁净间的隔断,并在其中一间隔出一个清洗间,其余部分为涂膜间。要求空气洁净度为5级,室内温度为20土2度,相对湿度小于40%。 ………………………………

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