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来源:北理微电院 近日,在重庆力为康智能装备有限公司检测车间,北京理工大学重庆微电子研究院(以下简称“北理微电院”)彭喆博士正调试参数,光谱仪显示屏上实时跳动着精准的检测数据,经过严格测试, 北理微电院 自主研发的FTS-DT-101型微型近红外光谱仪 各项性能指标均达到或超过预期,标志着该产品 顺利完成批量生产并交付 。 ▲FTS-DT-101型微型近红外光谱仪测试交付现场 FTS-DT-101型微型近红外光谱仪由北理微电院彭喆博士牵头组建专业研发团队研发。该产品利用MEMS电热微镜技术,成功规避对电机的依赖,采用自主研发、生产的MEMS微镜,打破国内光谱仪核心部件技术瓶颈,解决 微镜热响应时间、调制精度、驱动控制 等系统问题,填补了国内技术空白。 ▲微型近红外光谱仪产品 ▲超大位移电热MEMS微镜 “我们先后突破MEMS微镜热响应
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