超28亿！又一天价光刻机年底安装

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‍ 集微网·爱集微APP，各大主流应用商店均可下载 消息人士称，三星将于2024年第四季度至2025年第一季度开始安装其首台高数值孔径（High-NA）为0.55的EUV（极紫外）光刻机。该设备将主要用于研发目的，因为该公司正在开发需要High-NA EUV设备实现分辨率的下一代工艺技术。三星还与日本Lasertec、JSR、东京电子和新思科技合作开发High-NA生态系统。 据悉，ASML目前只生产了8台Twinscan EXE:5000，其中英特尔购买了第一台，并且订购了多台。因此，有人猜测三星可能已经获得ASML第8台Twinscan EXE:5000。 三星的第一台ASML Twinscan EXE:5000 High-NA光刻系统将安装在该公司的华城园区，在那里它将开发其用于逻辑和DRAM的下一代制造技术。值得注意的是，High-NA EUV设备的安装要求很复杂，因为它处理的是13.5nm波长的EUV光。因此，即使三星在2024年底前获得High-NA EUV设备，完成安 ………………………………