国内静电卡盘已突破包围圈，但还需加快进度（6295字）

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点击 最 下方 关注《材料汇》 ， 点击“在看”和“ ”并分享 添加 小编微信 ，遇见 志同道合 的你 写在前面 （文末有惊喜） 一直在路上，所以停下脚步，只在于分享 包括： 新 材料/ 半导体 / 新能源/光伏/显示材料 等 正文 摘要 静电卡盘是提高半导体加工精度和良率的关键设备，全球市场被美日厂商垄断，国内企业需加快研发进度。华卓精科、中瓷电子、珂玛科技等已在静电卡盘国产化替代方面取得进展，未来有望为国产半导体设备领域打开新的增长空间。不过，国内静电卡盘研发进度不及预期，下游需求或不足，投资者需注意风险。 详情 静电卡盘是一种通过静电力将工件吸附固定在卡盘表面的夹具，被广泛运用于精密加工的场景。静电卡盘对多个半导体制造工艺的良率提升起重要作用。全球静电卡盘市场规模持续增长，但由美系、日系制造 ………………………………