制备工艺创新——“热干转移”助力悬浮石墨烯高效制造

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文章链接： https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.4c06827             摘要 单原子层石墨烯的悬浮膜在电子和纳米机电设备中的应用前景广阔。在本研究中，我们 展示了一种“热干转移”工艺，解决了在封闭腔体上制备和图案化大面积石墨烯膜的挑战 。其中， “热”指的是在转移过程中使用高温，增强石墨烯与目标基底的粘附性，而“干”指的是在石墨烯与基底接触时没有使用液体。 该方法相比之前报道的工艺，能够制备出高产量的完整悬浮单层化学气相沉积（CVD）石墨烯膜和人工堆叠的双层CVD石墨烯膜。我们通过基于神经网络的物体检测技术，对扫描电子显微镜（SEM）图像进行分析，获得了高统计精度的完整膜的高产量。通过拉曼断层扫描和原子力显微镜（AFM）对悬浮膜进行了检查。我们验证了该技术在悬浮石墨烯器件中的应用，尤其是作为压阻 ………………………………