主要观点总结
本文主要介绍了佳能推出的纳米压印光刻(NIL)机器,该机器可用于生产芯片,引起行业内不小的轰动。本周,日本公司将FPA-1200NZ2C纳米压印光刻系统交付给德克萨斯电子研究所进行研究。虽然目前芯片制造商对此技术和工具存在疑虑,但此技术可能是佳能和纳米压印光刻的重大突破。此技术也获得了DARPA等机构的大力支持。
关键观点总结
关键观点1: 佳能推出纳米压印光刻(NIL)机器
该机器无需使用传统的DUV或EUV系统,引起了行业内不小的轰动。
关键观点2: 德克萨斯电子研究所接收佳能的FPA-1200NZ2C纳米压印光刻系统进行研究
这是佳能和纳米压印光刻技术的重要突破,并得到了DARPA等机构的大力支持。
关键观点3: 纳米压印光刻技术与传统光刻系统的区别
纳米压印光刻技术直接将模具压印到光刻胶上,避免了对光学系统的需求,能够更准确地复制复杂的设计,降低生产成本。
关键观点4: NIL面临的挑战
在得到广泛采用之前,NIL面临着许多挑战,如减少灰尘颗粒的缺陷、创造与新光刻方法兼容的材料以及与现有制造流程的集成问题等。
文章预览
汽车芯片设计资料包 佳能去年推出了 第一台纳米压印光刻 (NIL) 机器 ,该机器可用于生产芯片,而无需使用传统的 DUV 或 EUV 系统,这引起了不小的轰动。然而,由于芯片制造商不熟悉它,因此对该工具和一般的 NIL 方法都存在很多怀疑。据 日经 新闻报道,本周,这家日本公司将其 FPA -1200NZ2C 纳米压印光刻系统 交付 给德克萨斯电子研究所 (TIE) 进行研究。 虽然看起来可能不是什么大新闻,但它可能是 佳能和纳米压印光刻的重大突破 。德克萨斯电子研究所(Texas Institute for Electronics)从德克萨斯大学纳米制造系统中心(Nanomanufacturing Systems Center)发展而来,“以响应行业对高级异构集成日益增长的兴趣”。TIE 得到了主要半导体公司联盟的支持,包括 Intel、NXP 和 Samsung。它还得到了 DARPA 的支持,DARPA 最近向 TIE 和 UT 提供了 14 亿美元的赠款 ,
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