使用3D打印MEMS实现柔性微系统中的微镜控制

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据麦姆斯咨询报道，美国卡内基梅隆大学（Carnegie Mellon University）的研究人员利用双光子聚合（2PP）3D打印技术和柔性印刷电路板（FPCB）开发出一种集成静电式微执行器的小型、轻量级的柔性微系统。在一系列可移动微镜阵列演示中，该系统即使在变形的情况下，也展示出精准可控的驱动能力。 集成微镜的柔性印刷电路板（FPCB）的制造：a. 使用SU-8作为临时粘合剂将FPCB附着到玻璃基板上；b. 使用双光子聚合（2PP）技术将3D结构直接打印到柔性印刷电路板上；c. 利用金属溅射工艺在3D打印结构上形成铝涂层；d. 电子元件通过嵌入在柔性印刷电路板中的铜线安装并连接到执行器。 该研究的难点在于将金属溅射工艺集成到制造过程中，通过微机电系统（MEMS）的导电3D结构激活执行器。由于柔性印刷电路板的柔韧性和不平整的表面，以及所用材料的可变反 ………………………………