码刻 | 码荟成员矽行半导体发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

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近日，码荟成员苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称“矽行半导体”)宣布，公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证， 标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破 。 这是继去年8月，矽行半导体正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后， 再次取得的阶段性新进展。 矽行半导体核心团队汇聚了来自国内外知名上下游领域的顶尖人才，运用最先进的人工智能技术和超高精密的光机电技术，促进半导体制程的工艺改善和良率提升，旨在打造国内乃至全球领先的半导体检测装备龙头企业。 源码资本为矽行半导体A轮领投方。 从整片晶圆到单颗芯片，除了需要耳熟能详的光刻机外，还需要扩散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备 ………………………………