洁净室工艺设备防微振平台施工工法

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1 ．引言   近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、 TFT-LCD 平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大。随着各种高科技产业制程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动，如检验设备 SEM 、 SPM 、 TEM 、曝光设备 scanner 、 stepper 、椭圆偏光仪等等，几乎每一台设备都需要安装隔振系统。正因为如此，洁净室工艺设备防微振平台施工显现的尤为重要。   2 ．工法特点   2.1  需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备，一般放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁；本工法采用材料均为钢结构，不易产尘，从长期使用角度讲有利于洁净度的保持。   2.2  随着生产工艺的不断提高，生产设备对其基础的振动 ………………………………