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EUV薄膜,迎来新突破!

半导体行业观察  · 公众号  ·  · 2024-09-07 10:51

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👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~ 来源:内容来 自eetimes.jp ,谢谢。 碳纳米管(CNT)作为极紫外(EUV)光刻中使用的薄膜材料而备受关注。尽管CNT具有许多优点,但将其应用于EUV薄膜时,其生产方法是一个问题。芬兰的 Canatu 正在致力于开发碳纳米管的新制造方法。 在当今的半导体制造业中,最先进的芯片是在 7nm 及以下代工艺中制造的,几乎没有误差余地。尽管这个微观世界面临着挑战和持续的压力,工程师和科学家仍在继续追求突破摩尔定律极限的尖端工艺、技术和材料。通过纳米级的无休止的实验,设计者和研究人员努力寻找可以为芯片制造商带来数百万甚至数十亿美元收入的微小改进。 碳纳米管(CNT)作为一种潜在的替代材料而出现,可以解决极紫外(EUV)光刻效率低下的问题,它可能就是这样的一项创新。然而,目前 ………………………………

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