2024,Nature Communations——超薄显示器生产的未来：激光剥离技术革新

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文章链接： https://www.nature.com/articles/s41467-024-52661-3 文章提出的石墨烯作为中间隔离层，目前可以优化的在于重复利用性，如果是将中间层变成光刻胶之类的物质，借助湿法剥离会不会也是一种可行的方案。器件沾污的问题是一个问题，也可以考虑其他的更优化的材料，低成本且可重复利用。                         摘要 超薄聚酰亚胺（PI）膜的激光剥离（LLO）在超薄显示器的制造中至关重要。然而，传统的LLO技术在分离超薄PI膜时面临着对集成设备造成机械和电气损害的挑战。在此，我们提出了一种石墨烯辅助激光剥离（GLLO）方法，以应对这些挑战。GLLO方法通过在透明载体与超薄PI膜之间的界面集成化学气相沉积（CVD）生长的石墨烯，展示了改善的工艺性和剥离质量。特别是，GLLO方法显著减轻了PI膜的塑性变形，并最小化了残留在载体上的碳 ………………………………