薄膜厚度对氧化石墨烯纳米加工的影响研究

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0 1 作者 唐川, 陈磊*, 钱林茂 0 2 作者单位 西南交通大学，机械工程学院，摩擦学研究所 0 3 引用格式 Tang C., Chen L.*, Qian L. Influence of Film Thickness on Nanofabrication of Graphene Oxide. Nanomanuf Metrol 7, 8 (2024).  https://doi.org/10.1007/s41871-024-00226-9. 文章导读 近期，西南交通大学机械工程学院超精密表面制造团队钱林茂教授和陈磊教授等研究了氧化石墨烯（GO）薄膜厚度对探针式纳米结构加工的影响规律及机理。研究结果发现，随着GO薄膜厚度增加，其平面与台阶边缘去除呈现出不同的行为方式，即平面去除的临界载荷呈现出单调下降，而台阶边缘呈现出相反的逐渐增加趋势。与单层平面相比，单层GO台阶边缘处的去除临界载荷下降了25倍；但当层数增加到4层数时，差距减小到约3倍。因此，源于台阶边缘的GO纳米图案制造可以在1 nN的超低载荷下实现，并且通过热还原恢 ………………………………