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“胶带”再立新功!超薄金刚石膜!港大&南科大&北大 撕出一篇Nature!!!

材料学网  · 公众号  ·  · 2024-12-19 21:56
    

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0 1 【科学背景】 金刚石因其卓越的载流子迁移率、导热性、介电击穿强度以及从红外到深紫外(UV)的超宽带隙和光学透明度,是电子和光子应用的优秀材料。为了替代昂贵的天然钻石,通过高压高温和化学气相沉积(CVD)技术大规模生产的合成金刚石(单晶和多晶类型)在各种电气、光学、机械、热和声学应用中得到了广泛探索。尽管金刚石具有巨大的前景,但由于无法获得与发达的硅基半导体技术完全兼容的大面积、分层形式的这种材料,它们的广泛使用仍然受到阻碍。因此,开发具有出色可控性和异质集成潜力的高质量晶片级超薄金刚石膜,将为下一代电子和光子器件带来无数新机遇。目前,超薄金刚石是通过切片大块金刚石或在异质基底上通过CVD生长获得的。切片可以产生高质量的单晶金刚石(SCD),但该方法不适用于工业应用,因为所 ………………………………

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