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Adv. Mater.: 蓝宝石基底上单晶二硫化钼外延生长的界面原子机制

知社学术圈  · 公众号  ·  · 2025-03-18 11:30
    

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海归学者发起的公益学术平台 分享信息,整合资源 交流学术,偶尔风月 二维材料,尤其是过渡金属二硫族化合物(TMDCs),因其独特的电学、光学及机械性能,近年来受到广泛关注。其中,二硫化钼(MoS₂)因其在电子学、光电子学及自旋电子学等领域的巨大应用潜力而备受瞩目。在晶圆尺度上成功合成单晶单层MoS₂,对于其在大规模器件阵列中的实际应用至关重要。蓝宝石(α-Al2O3)因其优异的晶体稳定性及六方表面对称性,在半导体工业中被广泛应用,同时提供了较为匹配的晶格参数,为TMDCs的外延生长提供了优越的平台。 尽管此前在α-Al 2 O 3 衬底上实现单晶MoS 2 的外延生长已取得一定进展,例如当前广泛采用的衬底台阶工程策略,该方法通常依赖于对基底表面进行精确调控,如设计特定的斜切角或在高温条件下进行退火处理,以优化表面形 ………………………………

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