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一 无尘车间标准等级定义 Class X (at Y μm ) 其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。 以下是几个例子: Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘车间的状态 ,例如: Class X (at Y μm ),At-rest 第三个是自订微粒浓度上限 ,一般在As-built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0.3 μm < = 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm < = 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时,依然有足
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