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韩国媒体消息,三星电子(Samsung Electronics)削减了极紫外光(EUV)微影采购计划,跟荷兰半导体设备业龙头ASML(ASML Holding N.V.)合作研发中心进度卡关。 据韩媒Business Korea 8月20日引述未具名消息人士报导,2023年12月12日当天,韩国总统尹锡悦(Yoon Suk Yeol)访问ASML荷兰总部,陪同的人士包括荷兰国王Willem-Alexander、三星会长李在熔(Lee Jae-yong)、SK集团董事长崔泰源(Chey Tae-won)和ASML执行长Peter Wennink。三星、ASML也当场签定备忘录(MOU),准备在韩国都会区共同兴建EUV研发中心。然而,过了短短半年,两家公司的合作案传出生变。 据报导,三星7月稍早在会议上时通知ASML,决定削减次世代High-NA EUV(高数值孔径极紫外光)微影设备的采购量;两家公司应该很快就会着手修改相关合约。 三星原本规划,未来十年采购的ASML次世代机台(分别是「EXE:5200」
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