台积电A14P，采用EUV天价光刻机

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‍ 集微网·爱集微APP，各大主流应用商店均可下载 半导体设备行业人士援引台积电制定的High-NA EUV路线图指出，台积电A14制程（1.4nm）将于2026年上半年进行风险试产，最快2027年第三季度量产，量产初期仍主要采用ASML第三代标准型EUV设备NXE:3800E。 预计在2028年，A14制程的改良升级版A14P，将正式采用High-NA EUV，包括EXE:5000和EXE:5200。而在2030年后的A10制程中，将全面导入High-NA EUV。 2024年5月，台积电董事长魏哲家率领公司高管团队访问了位于荷兰的ASML总部。消息人士称，此次访问旨在更好地了解High-NA EUV系统，该系统每台售价3.8亿美元。消息人士称，台积电团队还会见了多家供应链公司，讨论维护和零部件供应事宜。 目前，台积电在晶圆代工市场占有压倒性优势，是ASML EUV设备的最大客户。消息人士称，台积电3nm芯片生产已经达到满负荷，其2nm工艺的订 ………………………………