专栏名称: 洁净工程联盟
见远,行更远
目录
相关文章推荐
清晨朗读会  ·  渊源直播 ·  昨天  
今天看啥  ›  专栏  ›  洁净工程联盟

半导体fab无尘室(Clean room)有啥用?

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-08-27 11:20

文章预览

【重要提醒】 微信更改了推送机制。👆如果要时常见面,欢迎标星🌟收藏哦! 没有无尘室的半导体fab是不存在的。 一般根据级别半导体clean room分为Class1- Class1000000。( Class1:0.1微米以下的颗粒物数目每立方米不能超过10个;依次类推;数字越小,级别越高。 ) 为啥在半导体fab中一定要搞个无尘室呢? 第一、一定是防止wafer污染。一般来讲,半导体fab制造的产品线宽都是nm级别的,受不了任何微小的尘埃、微生物或其他污染物影响。所以,需要无尘室,进一步可以控制环境中的污染物,确保跑货环境的清洁度。 第二、控制湿度和温度。无尘室可以控制湿度和温度,这对于半导体制造过程中的化学反应和物理过程至关重要。某些过程对环境条件非常敏感,需要精确控制。 第三、减少静电。静电可以损坏半导体芯片上的微小电路。无尘室通过控制 ………………………………

原文地址:访问原文地址
快照地址: 访问文章快照
总结与预览地址:访问总结与预览