半导体fab无尘室（Clean room）有啥用？

文章预览

【重要提醒】 微信更改了推送机制。👆如果要时常见面，欢迎标星🌟收藏哦！ 没有无尘室的半导体fab是不存在的。 一般根据级别半导体clean room分为Class1- Class1000000。（ Class1：0.1微米以下的颗粒物数目每立方米不能超过10个；依次类推；数字越小，级别越高。 ） 为啥在半导体fab中一定要搞个无尘室呢？ 第一、一定是防止wafer污染。一般来讲，半导体fab制造的产品线宽都是nm级别的，受不了任何微小的尘埃、微生物或其他污染物影响。所以，需要无尘室，进一步可以控制环境中的污染物，确保跑货环境的清洁度。 第二、控制湿度和温度。无尘室可以控制湿度和温度，这对于半导体制造过程中的化学反应和物理过程至关重要。某些过程对环境条件非常敏感，需要精确控制。 第三、减少静电。静电可以损坏半导体芯片上的微小电路。无尘室通过控制 ………………………………