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工艺循环水系统-PCW

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-09-19 11:20

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PCW工艺循环水系统是一种用于工业生产过程中循环利用水资源的系统。 PCW是英文Process Cooling Water的缩写,意为工艺冷却水或制程工艺循环水。 工艺循环水的应用非常广泛,涉及各类工业生产活动,包括半导体、微电子、火电厂中汽轮机排气冷凝、大型中央空调、煤化工、石化厂、天然气管道降温等。 工艺循环水广泛用于半导体、微电子、液晶材料、新能源材料生产等行业中关键制程设备的间接冷却。分为开式系统和闭式系统。本篇就工艺循环水构成及部件作用、工作原理及用途、系统控制及系统模式比较等内容进行介绍。 一、PCW工艺循环水系统构成及部件作用具体包括以下几个方面: PCW系统主要设备:水质处理,循环系统、冷却热交换设备、储水箱、过滤器。配套还包括:末端(工艺机台设备)、冷源(冷冻水等)、电气控制系统、补水定压 ………………………………

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