波导厂商Lumus介绍一种基于光学的内切面平行度验证方法

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内切面平行度验证 （ 映维网Nweon 2024年08月08日 ）有的光波导包括表面平行的内反射面。为了高精度地验证内切面的平行度，目前需要高端的光学元件。对于简单且易于实现的计量技术，市场存在未满足的需求。 在一份专利申请中，波导厂商Lumus就介绍了一种基于光学的内切面平行度验证方法。 图1A描述了用于样品内切面计量的基光系统100。基于光学的系统100配置用于验证样品的内切面之间的平行度。样品10包括透光基板12，以及在基板内的两个或多个内刻面14。样品10包括外部第一表面16a。样品第一表面16a可以是平的。样品10的输出部分18对应于基板12的内刻面14所在的部分。 ………………………………