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定义及分类 半导体检测仪器是指用于半导体制造过程中检测芯片性能与缺陷的专用仪器。根据使用的环节以及检测项目的不同,可分为前道检测和后道检测。其中,前道量检测包括量测类和缺陷检测类,主要用于晶圆加工环节,目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷,属于物理性检测;后道测试分为封装前晶圆测试和封装后成品测试,使用设备包括分选机、测试机、探针台,目的是检查芯片的性能是否符合要求,属于电性能检测。 行业政策 1、主管部门和监管体制 半导体检测仪器行业主管部门包括国家工业和信息化部、科技部等。其中国家工业和信息化部主要负责研究拟订信息化发展战略、方针政策和总体规划;推动产业结构战略性调整和优化升级;拟订本行业的法律、法规,发布行政规
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