气体侦测系统（GMS）架构及相关知识

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   半导体工厂使用多样之特殊气体，特性有：腐蚀性、氧化性、易燃性、自燃性、毒性、窒息特性。因此为维护厂内人员之安全、环境保护、公司财产，故需设置完善的气体安全系统，以防范危险于未然。     什么气体环境需要被侦测？  答：除空气之外的任何气体环境都需要被监视侦测 以下制程均存在各种各样的气体危害： Rikenkeiki 气体监控系统，简称GMS系统，GMS系统设置之目的大致包括：   A ：气体侦测系统职能，旨在监测工艺所使用之供气设备 (如GC、VMB、Purifier…等) 及毒性或有害气体是否泄漏，及作业环境中毒性气体及氧气之浓度，并于泄漏时提供警报信号予气体供应系统连锁连动，并藉由广播系统及本地报警单元传达警告讯息。 B ：气体监控系统之职能，包括而不仅限于供气设备 (如GC、VDB、VMB、Purifier…等) 、尾气处理装置、大宗气 ………………………………