电子级多晶硅生产技术及发展现状

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引言 根据不同的纯度要求，多晶硅可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅，电子级多晶硅是一种高纯度的多晶硅材料，纯度要求达到99.9999999~99.999999999 （9N~11N） [1，2] ，是半导体工业、电子信息产业最主要、最基础的功能性材料，被称为电子信息产业的“粮食” [3，4] 。由于集成电路产业制程的特殊需求，其对于多晶硅原料中的施主杂质浓度、受主杂质浓度、碳浓度、氧浓度、基体和表面金属杂质浓度等关键指标要求严格，同时对电子级多晶硅的产品质量和稳定性也提出了更为苛刻的要求 [5] 。 1 电子级多晶硅的生产工艺 目前国际上电子级多晶硅生产工艺主要包括硅烷法、改良西门子法等。 1.1 硅烷法 硅烷法是以硅烷为中间产物，经过多次提纯后进行热分解制备多晶硅，该方法实质上是指以多种硅烷结合方式进行提纯的方法类别，其中包括硅化镁 ………………………………