EUV光刻机将用来生产10nm DRAM，2019年初量产

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来源：内容来自综合自MoneyDJ和Technews ，谢谢。 先前传出三星电子耍手段拓展晶圆代工市场，打算买断EUV(极紫外光)设备，让台积电(2330)买不到。不过韩国方面的新消息说，三星大买EUV，不只用于晶圆代工，也会用于记忆体，计划抢先同业，2019年初量产10 纳米DRAM。 韩媒BusinessKorea 29日报导，业界人士表示，三星考虑在南韩华城厂增建EUV设备专用的DRAM产线，最快下个月动工，预定2019年启用，将利用初期10纳米技术生产 DRAM，开业界先河。据韩国ETNews报道称，大韩国华城市（Hwasung）的Line 17工厂，预计投资在2.5万亿到3万亿韩元之间，约合22-26.4亿美元。以300mm晶圆计算，扩建之后每月产能将提升3.5万片晶圆，目前的产能约为4万片晶圆/月。 目前业者多采用ArF浸润式制程 ………………………………