台积、应材加持、前进熊本抢单　Ozone厂商 明远精密：营运动能超乐观

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真空技术设备大厂日扬旗下明 远 精密，专注半导体臭氧供气系统、 远 端电浆源（RPS）、射频电源系统及技术维修服务领域，主要应用于半导体制程中的化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）等关键制程。 明 远 表示，主力产品之一的射频电源系统（ACME）为高度节能半导体设备，助力客户大幅减碳，节能效果最高达68.7%，取得晶圆代工大厂等客户青睐，成为制程标准机台配置，截至2024年6月底已出货逾200套，每年协助客户减少23座大安森林公园的碳排放量。 明 远 表示，其三大产品在半导体制程中扮演着关键角色：高效节能射频电源系统用于CVD制程，确保气体分子在沉积过程中均匀裂解和反应，形成高质量薄膜；臭氧供气系统则用于ALD制程，有助于提高薄膜均匀性和致密性，对提升半导体元件性能至关重要； 远 端电浆源主要用于腔体清洁，能有 ………………………………