量化和缓解扫描电镜（SEM）中的碳污染

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在 大部分的 电镜研究中，污染是一种副作用，它会覆盖感兴趣的结构并降低分辨率。 关于 污染 的 研究已经有几十年的历史，但关于最小化污染的有利成像条件 以及 缓解污染的缓解仍然 是 悬而未决的问题。 本文讨论了 30 keV 电子能量下电子束诱导的碳污染 （ STEM-in-SEM ）， 并介绍了 一种可靠的方法来测量污染厚度， 以及 最大限度地减少污染的成像条件 （ 使用薄的无定形碳膜作为测试样品 ） 。 污染厚度随着电子能量降低到约 1 keV 而增加，但在 1 keV 以下降低。污染随束流的增加而增加，但在大 束 流下饱和。高剂量率 ， 短时间 可减少污染。在经过测试的污染缓解方法中，等离子清洗 （ plasma cleaning ） 和 电子 束 清洗 （ beam showering ） 是最有效的。 1 电子束诱导的碳污染 概述 电子束诱导的碳污染 不仅 覆盖了感兴趣的结构，恶化了分辨率 ………………………………