电子科技大学王曾晖团队InfoMat：大范围、高线性、快响应的纳米机电谐振式气压传感器

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点击蓝字 关注我们 摘  要 近日，电子科技大学王曾晖教授、夏娟研究员团队与中南大学周喻教授团队合作报道了基于非层状二维材料β-In 2 S 3 的超高频谐振式纳米气压传感器，实现了宽量程（从10 -3  Torr直至大气压）、高线性（非线性程度仅为0.0071）和快响应（内禀响应时间低于1微秒）的优异传感性能。 文章简介 二维非层状材料以其独特的表面特性，为先进传感应用注入新的可能。通过将材料特性与机械自由度相耦合，有望实现全新架构和性能更优的新型纳米传感器。 近日， 电子科技大学王曾晖教授、夏娟研究员团队与中南大学周喻教授团队 合作报道了基于非层状二维材料β-In 2 S 3 的超高频谐振式纳米气压传感器，实现了宽量程（从10 -3  Torr直至大气压）、高线性（非线性程度仅为0.0071）和快响应（内禀响应时间低于1微秒）的优异传感性能 ………………………………