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在一家国产头部晶圆公司的8寸晶圆生产车间里,几十台晶圆搬运机器人,正在对接电子料架和机台,完成在光刻机、蚀刻机、CMP上的自主上料、下料,以及物料配送。 这些机器人叫做OW8,可以覆盖从光刻到清洗的全流程。精度的操作误差被控制在±0.1mm的范围之内,移动过程中的震动等级不能超过0.5g,否则就会导致裂片。 在芯片这样的精密制造产业里,每项工序和工艺对于动作精度的要求都极高,一个晶圆盒价值几十万上百万,一台OW8一次可以搬八个晶圆盒,每一次搬运都背着千万元人民币的责任。这给机器人制造厂商提出了极高的要求。 生产这些机器人的厂商,同样来自中国,名叫优艾智合。几年前这家公司曾经带着自家14款16台机器人“参演”过《流浪地球2》。电影里在空间站、北京数据中心的巡检机器人,在行星发动机库中的物料运输机
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