电容式MEMS六轴力/力矩传感器：大量程、高灵敏度、低串扰

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微型六轴力/力矩传感器在机器人触觉感知、微创手术以及其它狭小空间操作等领域具有广阔的应用前景。目前大多数商用传感器由于尺寸过大难以满足这些应用需求。采用硅微加工技术制造的硅基微机电系统（MEMS）六轴力/力矩传感器具有微型化和批量制造的优势，为解决尺寸大、成本高等问题提供了理想的方案。 据麦姆斯咨询报道，近期，西安交通大学赵立波教授、韩香广助理教授团队开发出一种基于电容检测原理的三明治结构MEMS六轴力/力矩传感芯片。该芯片采用解耦结构，将S形梁、梳状电容和平行板电容按对称层状排列，实现了全方向力/力矩的高精度解耦检测。相关研究成果以“Miniaturized silicon-based capacitive six-axis force/torque sensor with large range, high sensitivity, and low crosstalk”为题发表在 Microsystems & Nanoengineering 期刊上。 现有的硅基电容式MEMS ………………………………