上海大学张建华、赵婷婷团队AFM：基于全光刻工艺的高密度无串扰柔性电解质栅控突触晶体管阵列用于多模态神经形态计算

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高密度生物电解质栅控突触晶体管（BEGTs）阵列在构建神经形态计算架构方面展现出巨大潜力。然而，由于电解质的体离子导电性和对裂纹的高度敏感性，图案化电解质的制备变得至关重要，这有助于避免器件间的空间串扰并增强阵列器件的柔性。光刻技术，作为微电子制造的核心技术之一，能够制造亚微米级的高密度器件阵列，其高精度和高可靠性使其成为目前实现高密度图案化器件的首选方法。然而，生物电解质材料因其对有机溶剂和紫外光（UV）的敏感性可能导致材料在光刻过程中的退化，这会削弱材料的离子活性，进而影响器件的性能。因此，开发一种稳定且可靠的全光刻技术来制造可扩展的高密度BEGTs阵列，面临着重大挑战。 针对这一挑战， 上海大学的 张建华 、 赵婷婷 团队提出了 一种基于光交联电解质的全光刻BEGTs阵列制造方法 。 ………………………………