测试表征丨X射线能谱（EDX）原理、应用、主要功能....

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1 引言 元素分析在电镜分析中经常使用，通过在现代分析型电镜内安装X射线能谱、能量过滤器、高角度环形探测器等配件，可实现在多学科领域、纳米尺度下对样品进行多种信号的测试，从而获取更全面的结构以及成分信息。 X射线能谱 （Energy Dispersive X-ray spectroscopy，EDX）作为元素分析方法之一，常用于材料 微区成分元素种类与含量分析 ，可以分析元素周期表中从硼到铀（B-U）的所有元素信息。一般与扫描电子显微镜和透射电子显微镜配合使用。 2 特征X射线的产生 电子枪发出的高能电子束抨击样品时，入射电子与样品表面的物质相互作用，产生携带样品信息的二次电子、背散射电子、特征X射线等，如图1所示。 图1 电子束与样品相互作用 入射的高能电子束撞击样品并将部分能量转移到样品的原子上。样品中原子的电子吸收该能量后脱离原子， ………………………………