又一家GW级钙钛矿磁控溅射设备顺利交付！

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近日，湖州市鹑火光电有限公司自主研发的GW级钙钛矿磁控溅射设备顺利出货，各项性能指标均超过设计预期，并通过客户验收。 鹑火光电磁控溅射设备融合了全自主磁场电场耦合设计和布气技术，采用圆柱阴极和低损伤溅射的设计方式，能够有效降低电极层对钙钛矿层的损伤。自研的气路系统设计，使得气氛均匀性得到进一步改善，实际测试膜厚不均匀性≤5%，ITO膜层方阻≤40Ω/■（100nm厚度），具有良好的透过率（100nm ITO膜层厚度，400/550/800nm波长下的透过率分别超过75%、90%和80%）。另外，设备的一键式腔体开合设计方式，可减少设备的维护保养时间，提高设备的实际生产效率及有效运行时间。 此外， 鹑火光电 开发出氧化镍（NiOx）空穴传输层磁控溅射设备量产线，使用金属镍或导电的氧化镍圆柱靶材，在Ar/O2混合气氛中沉积氧化镍膜层。相较于 ………………………………