特气系统：特气柜/气架/VMB/VMP技术解析

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GC-Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR-Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体 ) VMB-Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP_Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和 VMB 主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体,而气瓶架和 VMP 一般用于非危害性气体;主要区别在于，特气柜和 VMB 都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。 (一)Gas Cabinet/Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 1. 功能设计 可分为 单钢瓶(1process)/ 双钢瓶(2 Process )/ 三钢瓶(2 Process +1 N2)气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种:分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。 (1) 单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免 ………………………………