半导体工厂：厂务监控FMCS系统

文章预览

一、概述 集成电路制造业是一个在超净化环境中，使用超纯材料，进行超微细加工的产业。随着集成电路生产目前进入深亚微米及纳米级工艺加工阶段，工艺参数以及图形线宽也发生了变化，因此对洁净度等级、工艺中所使用的材料品种和纯度指标的要求还在不断提升。为减少对半导体集成电路的污染，必须保证半导体集成电路的生产在高度洁净的环境中进行。 1.生产污染物 集成电路生产中可能接触到的主要污染物有：微粒杂质、无机离子、有机物质、微生物以及气体杂质等。从广义上说，不适宜的温度、湿度、照度、超过限度的静电、电磁噪声、空气噪声以及微振动等，也都是特殊的污染物。其中，微粒杂质、无机离子、有机物质、微生物以及气体杂质的数量超过一定限度时，就会使集成电路产品发生表面擦伤、图形断线、短路、针孔、剥离 ………………………………