南京理工大学成果：MEMS惯性传感器设计与工艺

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MEMS惯性传感器设计与工艺 南京理工大学 1 成果简介 针对高精度、高性能MEMS加速度计、陀螺仪的全国产化设计与制造需求，在高精度、高性能加速度计、陀螺仪的结构设计、晶圆级制造工艺检测、先进封装、专用集成电路等方面开展研究，突破了全自主、全国产中高端MEMS惯性器件流片工艺，核心指标接近甚至部分超越国际主流产品，解决“卡脖子”问题。主要产品及技术参数如下： 1）MEMS陀螺仪：具有 < 1%地球转速分辨能力，定向精度优于1°，零偏不稳定性及寻北精度接近以Honeywell HG7930为代表的国际最高水平； 2）MEMS谐振式加速度计：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不稳定性 < 1μg；通过-40~60℃全温区、13.8grms随机振动、150g跌落、3000g冲击响应谱等模拟环境验证。零偏与标度稳定性与Honeywell的石英基产品QA3000持平，抗冲击能力更优。 2 应用领域 无 ………………………………