金刚石的抛光“美学”

文章预览

金刚石以其优异的性能在力学、光学、热学和电子学等领域发挥着重要作用。然而， 金刚石表面质量 会影响其在高科技领域的应用，因此通过 高效抛光技术 获得高质量表面一直是金刚石研究的重点内容。 随着化学气相沉积（CVD）金刚石技术的发展，大尺寸人工合成金刚石得以规模化生产并获得广泛应用，但CVD金刚石常伴有薄膜厚度不均匀、应力变形、晶粒尺寸不同、取向不一致、位错密度较高、表面质量低等缺点，因此在应用前需要进行平整化处理。例如：单晶金刚石制作的刀具需具有光滑表面，便于切屑快速从金刚石刀面快速排出，从而减少切屑堆积，保证加工精度，提升刀具使用寿命；多晶金刚石膜做热沉材料时，需要光滑的表面以增加接触面积，提高散热效率；当用作光学窗口时，金刚石的低损伤表面/亚表面可以减少光信号通过时的散 ………………………………